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本发明涉及半导体技术领域，公开了一种硅片高温氧化工艺，高温氧化在高温氧化设备上进行，所述高温氧化设备包括入料段、升温段、恒温段、冷却段、出料段，各段均用穿设在设备腔体两侧之间的转动的陶瓷轴进行传送，通过工控电脑设置各段的温度曲线，确保各段温...
该专利属于苏州昊建自动化系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昊建自动化系统有限公司授权不得商用。

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