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本发明实施例提供了一种光刻修复方法及装置，该光刻修复方法包括：提供一待刻蚀的基板，基板表面依次形成有待刻蚀层和光刻胶层，光刻胶层包括缺陷区域；采用修复激光对光刻胶层的缺陷区域进行修复处理，修复处理包括减薄处理和/或清除处理；根据修复处理后的...
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