下载一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用的技术资料

文档序号:26303392

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本发明公开了一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用,所述感光性聚合物中至少包含以下结构单元:1)能够产生酸性基团的结构单元;2)含有金属离子的结构单元;3)具有鎓盐基团的结构单元,所述结构单元1)、2)、3)的摩尔比为(1~95):(...
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