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本发明提供一种在维持超窄间距的同时寿命长且精度高的接触探针。接触探针（１０）具有在对检查对象物进行电气检查时与该对象物直接连接的多个梁状的悬臂（２），还包括使悬臂（２）微小振动的压电元件（４），通过对该压电元件（４）进行驱动，悬臂（２）的前...
该专利属于日本发条株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本发条株式会社授权不得商用。

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