接触探针制造技术

本发明专利技术提供一种在维持超窄间距的同时寿命长且精度高的接触探针。接触探针（１０）具有在对检查对象物进行电气检查时与该对象物直接连接的多个梁状的悬臂（２），还包括使悬臂（２）微小振动的压电元件（４），通过对该压电元件（４）进行驱动，悬臂（２）的前端上下移动，容易撞破检查对象物的电极上的氧化覆膜等，能可靠地进行与电极的接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及与液晶面板和集成电路等电子产品的电极或端子部连接 并在该电子产品的导通状态检查和动作试验中使用的接触探针。
技术介绍
以往，在对LCD面板等作为电子产品的检查对象物进行检查时，经 接触探针与LCD面板的连接端子电接触，进而，经与接触探针的另一端 电连接的接触块与扁平电缆等连接，从与该扁平电缆连接的检査装置施加 各种测试信号，来进行LCD面板的检查。该接触探针利用半导体制造方法的光刻技术，在基板表面上一并形成 与多个检查用电极对应的多个梁形状的探针而构成(参照专利文献1 4)。 进而，存在根据光刻法将可挠性基板等的导电箔，图案蚀刻为超窄间距， 并在该图案上形成凸起作为探针头的结构(参照专利文献5)。这些接触探 针利用光刻技术，因此可对应近年的电极窄间距化。专利文献1:特开平8-50146号公报专利文献2:特许第3123483号公报专利文献3:特开2003-215161号公报专利文献4:特表2004-503785号公报专利文献5:特开2003-98189号公报但是，在上述现有的接触探针中，若在维持40iam左右的超窄间距的 同时施加较大重量时，则探针或探针头容易损坏，寿命本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接触探针，其具有在对检查对象物进行电气检查时与该检查对象物直接连接的探针，该接触探针还包括使所述探针微小振动的振动单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石川浩嗣，富永润，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]