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公开了一种晶圆探针卡的拆卸防护结构、晶圆测试探针台及防护方法,晶圆探针卡的拆卸防护结构中,晶圆探针卡经由晶圆测试探针台的托盘和/或集成电路自动测试机的锁止结构可拆卸地锁止,托盘可拆卸连接晶圆探针卡,光电传感器检测所述托盘执行针卡拆卸时的机械...该专利属于广东利扬芯片测试股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东利扬芯片测试股份有限公司授权不得商用。
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公开了一种晶圆探针卡的拆卸防护结构、晶圆测试探针台及防护方法,晶圆探针卡的拆卸防护结构中,晶圆探针卡经由晶圆测试探针台的托盘和/或集成电路自动测试机的锁止结构可拆卸地锁止,托盘可拆卸连接晶圆探针卡,光电传感器检测所述托盘执行针卡拆卸时的机械...