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非接触式判断半导体材料导电类型的方法技术
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文档序号:26303132
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本发明公开了非接触式判断半导体材料导电类型的方法。现有方法在测试后会造成半导体材料表面损坏。本发明方法在待测半导体晶片表面上方布置测量电极和参考电极,电极为透明导电玻璃,导电面朝下;两个电极的导电面分别接接运算放大器的同向和反向输入端;测量...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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