下载一种高稳定性单晶硅压力传感器的技术资料

文档序号:26302593

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本发明公开了一种高稳定性单晶硅压力传感器,包括压力传感器主体,压力传感器主体的外侧设有可变式支撑机构,可变式支撑机构包括套环,套环的外侧设有多个均匀分布的支撑件,套环与支撑件之间连接有可调连接机构;可调连接机构包括第一连接件,第一连接件与支...
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