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压电微泵及气体检测装置制造方法及图纸
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文档序号:26301438
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本发明公开了一种压电微泵及气体检测装置。压电微泵包括:泵体,一端具有开口的泵腔;盖体,设置于泵体的一端,且覆盖泵腔的开口,盖体具有与泵腔相连通的进气口和出气口;第一悬臂梁,设于盖体的一侧,且与所述泵体相对设置,第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或...
该专利属于南昌欧菲显示科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南昌欧菲显示科技有限公司授权不得商用。
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