下载压电微泵及气体检测装置的技术资料

文档序号:26301438

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本发明公开了一种压电微泵及气体检测装置。压电微泵包括:泵体,一端具有开口的泵腔;盖体,设置于泵体的一端,且覆盖泵腔的开口,盖体具有与泵腔相连通的进气口和出气口;第一悬臂梁,设于盖体的一侧,且与所述泵体相对设置,第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或...
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