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一种用于在待测半导体器件和测试系统之间提供电互连的探针卡组件。该探针卡组件包括由支撑基板支撑的多个探针，多个探针中的每个都包括远离支撑基板延伸的端部。端部被配置为电连接至待测半导体器件。该探针卡组件还包括置于支撑基板和多个探针的末端之间的介...
该专利属于SV探针私人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过SV探针私人有限公司授权不得商用。

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