下载一种含超级结的3C-SiC外延结构的技术资料

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本实用新型公开了一种含超级结的3C‑SiC外延结构,所述含超级结的3C‑SiC外延结构由下之上依次包括衬底、含超级结结构的N型外延层、3C‑SiC外延层;本实用新型通过在3C‑SiC外延层之下插入了含超级结结构的N型外延层,补偿了3C‑Si...
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