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本实用新型公开了一种晶圆放置对准装置,主要解决现有晶圆样品在进行样品检测时,样品中心调节不便导致样品检测检测准确性低的问题。该放置对准装置包括用于放置晶圆样品的承载装置,与承载装置固定连接的对准调节装置,以及设置于测试设备上的对位孔及激光定...该专利属于四川科尔威光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川科尔威光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种晶圆放置对准装置,主要解决现有晶圆样品在进行样品检测时,样品中心调节不便导致样品检测检测准确性低的问题。该放置对准装置包括用于放置晶圆样品的承载装置,与承载装置固定连接的对准调节装置,以及设置于测试设备上的对位孔及激光定...