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本实用新型公开了一种均匀进气氧化气体匀化罩，其特征在于：所述匀化罩为四个侧面和一个顶面拼成或一体成型的正方体或无底面的半球形、弧形，所述匀化罩均匀分布有等径的通气孔。此装置能将被N2(载气)带入的水气平缓、稳定均匀的接触晶圆表面，避免进气口...
该专利属于南京集芯光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京集芯光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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