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本申请实施例提供了一种半导体设备及其设备前端腔室。该设备前端腔室，包括腔体和进气装置，进气装置设置于腔体上；进气装置包括冷凝组件，冷凝组件用于制冷以降低进入腔体的空气的温度，使空气中的水汽凝结为冷凝水。本申请实施例由于降低了腔体内空气中水汽...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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