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本发明提供的一种热载流子注入测试MOS器件的方法包括以下步骤:1.根据JEDEC标准,对器件进行热载流子注入实验,计算所测试出的电学参数衰退幅度值;2.将不同时间点下计算出的MOS器件电学参数衰退幅度数据利用公式y=At↑[n]+Bexp(...该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明提供的一种热载流子注入测试MOS器件的方法包括以下步骤:1.根据JEDEC标准,对器件进行热载流子注入实验,计算所测试出的电学参数衰退幅度值;2.将不同时间点下计算出的MOS器件电学参数衰退幅度数据利用公式y=At↑[n]+Bexp(...