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文档序号:2629025
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本发明公开了一种探针卡,该探针卡包括:第一基底结构,具有电路图案;第二基底结构,与第一基底结构接触,并具有多个探针。上辅助板和下辅助板分别结合到第一基底结构的上表面和下表面。弹性构件固定到下辅助板并支撑第二基底结构。柔性连接介质电连接到电路...
该专利属于美高TN株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过美高TN株式会社授权不得商用。
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