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探针电阻测量方法和具有用于探针电阻测量的焊盘的半导体装置制造方法及图纸
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下载探针电阻测量方法和具有用于探针电阻测量的焊盘的半导体装置的技术资料
文档序号:2628896
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一种探针电阻测量方法包括,基于第一对应关系,通过将探针单元的多个探针的至少一部分与三个或更多个用于电阻测量的焊盘接触,测量三个或更多节点处的第一电阻。所测量的电阻被作为第一测量结果存储。基于所述第一测量结果,计算所述探针单元的所述多个探针的...
该专利属于恩益禧电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩益禧电子股份有限公司授权不得商用。
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