下载探针电阻测量方法和具有用于探针电阻测量的焊盘的半导体装置的技术资料

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一种探针电阻测量方法包括,基于第一对应关系,通过将探针单元的多个探针的至少一部分与三个或更多个用于电阻测量的焊盘接触,测量三个或更多节点处的第一电阻。所测量的电阻被作为第一测量结果存储。基于所述第一测量结果,计算所述探针单元的所述多个探针的...
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