下载一种用于反应烧结碳化硅制品的真空炉的技术资料

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本实用新型属于真空炉设备技术领域,具体地说是一种用于反应烧结碳化硅制品的真空炉。包括电控系统、炉壳、加热室、真空系统及多组发热组件,其中加热室设置于炉壳内,多组发热组件设置于加热室内,并且与电控系统连接,真空系统与炉壳连接,用于对炉壳内进行...
该专利属于沈阳沈真真空技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳沈真真空技术有限责任公司授权不得商用。

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