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微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自动测试方法及系统技术方案
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文档序号:2628491
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本发明公开一种在线式微机电系统梁振动疲劳特性自动测试系统,由电压产生模块、放大器、梁、定时器、电压检测模块、保护电路和数据输出模块组成。本发明采用以下技术方案,首先用交流电压在微机电系统梁上加载振动疲劳载荷使其振动特定次数,撤去上述振动疲劳...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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