【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种MEMS (Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)器 件性能的在线自动测量方法及系统,尤其涉及一种微机电系统梁振动载荷下疲劳 可靠性在线自动测试方法及系统。
技术介绍
MEMS英文全称为Microelectromechanical System,意思为微电子-机械系统, 简称微机电系统。微机电系统梁为机械类器件，多种应用中它们会不断的振动，随着振动次数 的增加，微机电系统梁会发生疲劳失效。微机电系统梁在振动载荷作用下的疲劳 测试，由于发生疲劳失效的循环次数很高， 一般不低于109次，测试微机电系统 梁的疲劳性能需要花费很长的时间，因此一种可在线自动测试微机电系统梁疲劳 可靠性系统的设计可以方便地对微机电系统梁进行疲劳测试和性能评价。至目前 为止还没有这类可在线测试微机电系统梁振动载荷作用下的疲劳测试系统的报 道。
技术实现思路
本专利技术的专利技术目的是提供一种微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自动测试 方法，该方法简单、省时、实用。本专利技术的另一个专利技术目的是提供一种微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自 动测试系...
【技术保护点】
一种微机电系统梁振动疲劳可靠性在线自动测试方法，其特征在于，首先用交流电压在微机电系统梁上加载振动疲劳载荷使其振动特定次数，撤去上述振动疲劳载荷，然后在所述微机电系统梁上加直流测量电压，测得反映所述微机电系统梁疲劳特性的吸合电压值，重复上述步骤使得加载与测量交替进行，得到反映所述微机电系统梁疲劳特性的吸合电压值与所述微机电系统梁振动次数的关系。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐洁影，陈龙龙，尚金堂，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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