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一种微机电系统磁场传感器及测量方法是一种功耗小、结构简单、响应快、可靠性好的磁场传感器及测量方法，由锚区（１）、感生金属线（２）、Ｅ型悬臂梁（３）、衬底（４）构成。Ｅ型悬臂梁由静电激励或者洛伦兹力驱动，Ｅ型悬臂梁（３）受力产生振动，在一定的...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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