一种微机电系统磁场传感器及测量方法技术方案

一种微机电系统磁场传感器及测量方法是一种功耗小、结构简单、响应快、可靠性好的磁场传感器及测量方法，由锚区（１）、感生金属线（２）、Ｅ型悬臂梁（３）、衬底（４）构成。Ｅ型悬臂梁由静电激励或者洛伦兹力驱动，Ｅ型悬臂梁（３）受力产生振动，在一定的频率作用下悬臂梁将产生谐振，镀在Ｅ型悬臂梁（３）上的感生金属线（２）能随Ｅ型悬臂梁（３）的振动而运动。在磁场存在的情况下，感生金属线（２）在磁场中作切割磁力线运动，这样金属线中就可以感生出感生电压，测量感生金属线（３）中的感生电压从而达到测量磁场的目的。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电系统磁场传感器，其特征在于该传感器包括衬底（４）、Ｅ型悬臂梁（３）、感生金属线（２），Ｅ型悬臂梁（３）平行悬空设于衬底（４）的上方，且左侧臂（３２）、右侧臂（３３）、中臂（３４）与衬底（４）相连接；感生金属线（２）被设于Ｅ型悬臂梁（３）上表面，并能与Ｅ型悬臂梁（３）同步运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洁，黄庆安，秦明，赵桂林，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]