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基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法利用多层材料梁释放后存在的残余应力，使梁产生向上弯曲，从而在不检测时获得极低的插入损耗。通过改变悬臂梁的长度以及宽度，就可以改变微波功率耦合器的耦合度；将终端电阻制作成半环状，将热电堆的热端...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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