基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法技术

基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法利用多层材料梁释放后存在的残余应力，使梁产生向上弯曲，从而在不检测时获得极低的插入损耗。通过改变悬臂梁的长度以及宽度，就可以改变微波功率耦合器的耦合度；将终端电阻制作成半环状，将热电堆的热端嵌入其中，进一步提高传热效率。该微波功率检测器实现了微波功率的通过式检测。微波功率检测器以砷化镓为衬底，在砷化镓衬底上有一层铝镓砷薄膜，从左至右分别为基于悬臂梁结构的微波功率耦合器和微波功率传感器。微波功率耦合器包括ＣＰＷ地线、中心信号线、下拉电极、介质层、悬臂梁、悬臂梁锚区。微波功率传感器包括ＣＰＷ地线、中心信号线、终端电阻、热电堆、压焊块、金属散热片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提出了一种基于悬臂梁的通过式微波功率检测器及其制备方法，属于 微电子机械系统(MEMS)的

技术介绍
微波功率是表征微波信号特性的重要参数之一，如标定微波发射机的输出功率、 测量微波接收机的灵敏度以及确定放大器的增益等参数，都离不开微波功率的测量。 在直流和低频段，电信号的功率可由测量它的电压、电流得到，但是到了射频/微波 频段，信号以波的形式存在，电压、电流已经失去了意义，信号功率的测量都是经 过其他间接方法得到的。总的看来，这些用来测量微波信号功率的方法的思路都是 使用一种器件(即微波功率传感器)把微波功率转化为可方便测量的低频信号，通 过测量此低频信号的某些参量来得到待测微波信号的功率。微电子机械系统(MEMS)技术的飞速发展使得MEMS微波功率传感器的出现成为 可能，其原理是终端电阻吸收待测的微波功率并将其转化为焦耳热，从而在热电 堆两端产生温差，热电堆的输出端便会输出基于塞贝克效应而产生的热电势，用该 热电势表征输入的微波功率。在该功率传感器的前端制作了微波功率耦合器，使得 微波功率通过式检测成为可能。与传统的功率计相比较，基于MEMS技术的微波功率 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器，其特征在于该微波功率检测器以砷化镓（３）为衬底，在砷化镓衬底上设一层铝镓砷薄膜（４），在铝镓砷薄膜（４）的上表面设有基于悬臂梁结构的微波功率耦合器和微波功率传感器。微波功率耦合器包括第一ＣＰＷ地线（１－１）、中心信号线（１－２）、介质层（１－３）、下拉电极（１－４）、悬臂梁（１－５）、悬臂梁锚区（１－６），铬金属层（１－７）；其中，第一ＣＰＷ地线（１－１）、中心信号线（１－２）、下拉电极（１－４）顺序并排排列，中心信号线（１－２）、下拉电极（１－４）上表面的中部设有介质层（１－３），悬臂梁（１－５）固定在中心信号线（２－２）上的悬臂梁锚区（１－６）...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，许映林，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]