下载一种硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构的技术资料

文档序号:26280900

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本实用新型公开了一种硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构,包括两个竖硅芯棒和横硅芯棒,所述横硅芯棒的下表面左右两侧均设有开槽一,两个所述开槽一相背对的表面上部连接有卡板,两个所述竖硅芯棒相对的表面上均设有与所述卡板配合使用的卡板槽,所述开槽二与...
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