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本实用新型公开了一种基于HVPE工艺的GaN晶体转运托盘装置，装置包括托盘、相变材料；托盘形成为中空结构，相变材料填充于托盘内中空处；GaN晶体置于托盘上；GaN晶体转运托盘装置中托盘采用了石墨材料制成，托盘内填充相变材料，托盘可以循环重复...
该专利属于中国工程物理研究院总体工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院总体工程研究所授权不得商用。

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