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用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器制造技术
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下载用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器的技术资料
文档序号:26280895
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本实用新型公开了一种用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器,包括分别位于正三角形3个端点的三个加热器脚;三个加热器叶片组件围合形成一个圆筒,相邻的加热器叶片组件之间设有间隙Ⅰ;所述三个加热器脚位于圆筒的内表面的底部;在2个相邻的加热器叶片组件之...
该专利属于浙江海纳半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江海纳半导体有限公司授权不得商用。
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