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本实用新型提供了一支撑结构、支架和镀膜设备,所述支撑结构应用于一镀膜设备以支撑至少一待镀膜工件,其中该镀膜设备包括一反应腔体和具有一反应腔,所述支撑结构被容纳于该反应腔并且被支撑于该反应腔体,其中所述支撑结构包括一板主体和至少一个电极件,其...该专利属于江苏菲沃泰纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏菲沃泰纳米科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一支撑结构、支架和镀膜设备,所述支撑结构应用于一镀膜设备以支撑至少一待镀膜工件,其中该镀膜设备包括一反应腔体和具有一反应腔,所述支撑结构被容纳于该反应腔并且被支撑于该反应腔体,其中所述支撑结构包括一板主体和至少一个电极件,其...