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本实用新型涉及一种高纯硅片自动清洗装置，包括控制单元、清洗槽、超声波发生器，清洗槽底部固定设有换能器，超声波发生器与换能器信号连接，控制单元与超声波发生器信号连接；还包括冷水水路、热水水路，冷水水路一端、热水水路一端均连通清洗槽，其另一端分...
该专利属于襄阳三圭电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过襄阳三圭电子有限公司授权不得商用。

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