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电容式硅微加速度计装置及电路，其特征是，该装置及电路包括等效质量块、电容上极板、电容下极板、支承体、反相器和前置放大器，等效质量块设置在支承体内，通过基座固定在支承体内的底面上，其上端通过附加质量块设置在支承体的导向槽内，电容上极板和电容下...
该专利属于沈阳工业学院所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳工业学院授权不得商用。

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