下载玻璃芯器件及其制造方法的技术资料

文档序号:26264620

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本发明提供一种通过使形成有TGV的玻璃芯的表面平坦,并且保护玻璃芯的表面,从而使其具备充分的机械强度、低成本且具有可靠性的玻璃芯器件及其制造方法。该玻璃芯器件中,通过在玻璃芯(10)上所形成的TGV(11)中嵌入布线,从而将玻璃芯(10)的...
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