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操作抛光系统的方法包括以下步骤：使用机器学习算法训练多个模型以生成多个训练模型，每个训练模型经配置成基于来自半导体处理系统的原位监测系统的监测信号来确定基板的层的特征值；存储多个训练模型；接收指示要处理的基板的特征的数据；基于数据来选择多个...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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