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本发明涉及一种用于侵入性电磁辐射的辐射源（1）的靶（10），该靶包括：至少一个靶元件（20），该至少一个靶元件被配置用于在用粒子照射后生成侵入性电磁辐射、并且联接至基材装置（28）以从该靶元件耗散热量，其中，该靶元件（20）具有形成该靶元件...
该专利属于卡尔蔡司工业测量技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司工业测量技术有限公司授权不得商用。

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