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示例质量流量控制器包含流动通路、层流元件和压力换能器组装件，流动通路包含第一腔体和第二腔体，压力换能器组装件包含绝对压力换能器和差压换能器，绝对压力换能器暴露于第三腔体中的绝对压力，该第三腔体与第一腔体流体连通，差压换能器暴露于第三腔体与第...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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