【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有绝对压力和差压换能器的质量流量控制器相关申请的交叉引用本申请要求于2018年1月30日提交的标题为“MassFlowControllerwithAbsoluteandDifferentialPressureTransducer(具有绝对压力和差压换能器的质量流量控制器)”的美国临时专利申请第62/624,059号的优先权，该美国临时专利申请的全部内容出于所有目的而通过引用全部并入本文。
本专利技术总体上涉及用于控制流体的质量流量的方法和系统，并且更具体地涉及用于气体和其他可压缩流体的质量流量控制器和质量流量计的操作。
技术介绍
许多工业过程需要精确控制各种过程流体。例如，在半导体工业中，质量流量计及其相关联的控制器可能能够精确测量和控制引入处理室的过程流体的量。可使用各种各样的技术来测量这些装置中的质量流量，这种技术包括热、超声飞行时间、科氏力和基于压力的技术。基于压力的质量流量计使用限定的流量限制来响应于要测量的流量产生压降，并使用对温度、所产生的压降和(对于可压缩流体)绝对压力的测量，结合流体...
【技术保护点】
1.一种质量流量控制器，包含：/n穿过所述质量流量控制器的流动通路；所述流动通路包含第一腔体和第二腔体，/n与所述第一腔体和所述第二腔体相邻的层流元件；其中所述第一腔体在所述层流元件的上游，而所述第二腔体在所述层流元件的下游，/n组合式绝对压力和差压换能器组装件，所述组合式绝对压力和差压换能器组装件包含：/n第三腔体，所述第三腔体与所述第一腔体流体连通，/n绝对压力换能器，所述绝对压力换能器具有绝对压力膜，并且暴露于所述第三腔体中的绝对压力，以及/n差压换能器，所述差压换能器具有第一差压膜和第二差压膜，并且暴露于所述第三腔体与所述第二腔体之间的差压，以及/n流量控制阀组装件...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180130 US 62/624,059;20181119 US 16/195,4321.一种质量流量控制器，包含：
穿过所述质量流量控制器的流动通路；所述流动通路包含第一腔体和第二腔体，
与所述第一腔体和所述第二腔体相邻的层流元件；其中所述第一腔体在所述层流元件的上游，而所述第二腔体在所述层流元件的下游，
组合式绝对压力和差压换能器组装件，所述组合式绝对压力和差压换能器组装件包含：
第三腔体，所述第三腔体与所述第一腔体流体连通，
绝对压力换能器，所述绝对压力换能器具有绝对压力膜，并且暴露于所述第三腔体中的绝对压力，以及
差压换能器，所述差压换能器具有第一差压膜和第二差压膜，并且暴露于所述第三腔体与所述第二腔体之间的差压，以及
流量控制阀组装件，所述流量控制阀组装件被配置为控制流体通过所述流动通路的流动；其中所述流量控制阀组装件在所述层流元件以及所述组合式绝对压力和差压换能器组装件的下游。
2.根据权利要求1所述的质量流量控制器，进一步包含入口孔块。
3.根据权利要求2所述的质量控制器，其中，所述入口孔块的入口直径为约0.010英寸至约0.070英寸。
4.根据权利要求1所述的质量流量控制器，进一步包含PID控制器。
5.根据权利要求3所述的质量流量控制器，其中，所述PID控制器被配置为：将所述绝对压力、所述差压以及流体属性和层流元件特性的知识转换成指示通过所述层流元件的质量流量的信号；接收指示通过所述层流元件的期望流量的设定点信号；以及控制阀驱动信号，使得指示通过所述层流元件的质量流量的所述信号基本上匹配所接收的设定点信号。
6.根据权利要求4所述的质量流量控制器，其中，所述设定点信号的所述期望流量小于或等于10％。
7.根据权利要求5所述的质量流量控制器，其中，所述流动通路进一步包含出口，并且其中所述出口的压力高于2psia。
8.根据权利要求1所述的质量流量控制器，进一步包含电路板。
9.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述组合式绝对压力和差压换能器组装件被配置为在所述流量控制阀组装件上游感测所述绝对压力和所述差压。
10.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述第三腔体填充有流体。
11....
【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·勒尔，安东尼·基奥，伯温·班纳斯，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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