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本发明提供一种非晶硅转印靶材的制备方法，选用高纯石英板作为非晶硅载板，使用盐酸双氧水混合液对非晶硅载板进行清洗，使用低压化学气相沉积的方法在载板表面沉积非晶硅层。本发明制备方法简单，本发明制备的非晶硅靶材在非晶硅转印工艺中剥离率高，均匀性好...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。

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