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本发明提供一种影像传感芯片晶圆级封装方法,所述封装方法先将晶圆级的透明基板及设于其上的支撑坝压合在晶圆上,之后再进行切割、刻蚀透明基板和支撑坝的流程,于封装制程的初期即可对所述晶圆上的所有影像传感芯片同时进行密封保护,从而避免逐个对影像传感...该专利属于苏州晶方半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶方半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种影像传感芯片晶圆级封装方法,所述封装方法先将晶圆级的透明基板及设于其上的支撑坝压合在晶圆上,之后再进行切割、刻蚀透明基板和支撑坝的流程,于封装制程的初期即可对所述晶圆上的所有影像传感芯片同时进行密封保护,从而避免逐个对影像传感...