下载三维存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:26261595

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本发明提供了一种三维存储器及其制造方法。该方法包括以下步骤:提供衬底,在衬底上形成牺牲层;在衬底上定义核心区和字线连接区,在核心区的牺牲层上形成堆叠层和垂直所述堆叠层的沟道结构,其中沟道结构具有存储器层和被存储器层围绕的导电部,导电部到达所...
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