下载一种半导体芯片生产用输送机构的技术资料

文档序号:26261538

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本发明公开了芯片生产领域的一种半导体芯片生产用输送机构,包括底板,底板上端安装输送框架,输送框架上端的凹槽两侧内壁固定连接侧板,滚轴支架上对接凹槽安装多组滚轴,多组滚轴外侧设置传送带,输送框架内腔环形铺设安装于冷凝管支架的冷凝管,输送框架内...
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