下载一种多芯片集成封装方法及封装结构的技术资料

文档序号:26261519

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本发明公开了一种多芯片集成封装方法,包括:将第一芯片的正面键合到第一载片上;进行第一塑封,将第一芯片包裹在第一塑封材料中,从而将所述第一芯片重构为晶圆;对重构晶圆的第一塑封材料进行减薄,露出第一芯片背面的导电通孔,减薄后的第一芯片背面所在的...
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