下载半导体加速感测器的技术资料

文档序号:2626040

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一种半导体加速感测器,包括:    非单晶硅基底;    电性绝缘的梁状结构,其具有可动端与固定端;    至少一个压电电阻,其设置于该梁状结构上;    电性绝缘的支承构件,其设置于该非单晶硅基底上,用来固定该梁状结构的该固定端,使得该梁...
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