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本发明公开了一种单质量平板三轴微机械加速度计，质量平板由四组内梁和四组外梁支撑于基底上，质量平板向四个方向伸出的四组梳齿，分别与固定在基底上的四个电极的梳齿交叉构成了四对梳齿电容器－－电容器Ｃ４０ａ、电容器Ｃ４０ｂ、电容器Ｃ４２ａ和电容器Ｃ...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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