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本发明涉及一种微型惯性传感器件的芯核建模方法及其芯核库，属于微机电系统的设计领域。技术特征在于：根据机械和电学两个能量域，以机械行为建模方法和力电耦合行为建模方法建立机械和电学的微结构行为模型，再根据芯核模型定义方法形成微惯性传感器件的可重...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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