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一种微机电系统（ＭＥＭＳ）器件（１０），包括：　　　　基片，该基片包括至少一个锚固件；　　　　验证质量块（１２），该验证质量块（１２）包括至少一个从该验证质量块（１２）延伸出来的减速延展部（６６），或者至少一个形成于该验证质量块（１２）上的...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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