用于在微机电系统结构内部减缓验证质量块运动的方法和系统技术方案

一种微机电系统（ＭＥＭＳ）器件（１０），包括：　　　　基片，该基片包括至少一个锚固件；　　　　验证质量块（１２），该验证质量块（１２）包括至少一个从该验证质量块（１２）延伸出来的减速延展部（６６），或者至少一个形成于该验证质量块（１２）上的减速凹槽（１５８）；　　　　　马达驱动梳形件（１８）；　　　　马达感测梳形件（２０）；　　　　多个悬挂装置（１４），这些悬挂装置（１４）被构造成将所述验证质量块悬挂在所述基片的上方并且位于所述马达驱动梳形件与马达感测梳形件之间，所述悬挂装置被锚固在所述基片上；　　　　固连在基片上的主体（６０）；以及　　　　至少一个从所述主体（６０）延伸出来的减速梁（６４），所述减速梁被构造成与所述至少一个减速延展部或者至少一个减速凹槽发生配合，并且在所述验证质量块接触所述马达驱动梳形件和马达感测梳形件之前使得所述验证质量块减速或者停止。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体上涉及微机电系统(MEMS)，并且更具体地说涉及在这种装置内部进行运动减速，以便防止MEMS器件内部的各种部件遭受损伤。
技术介绍
微机电系统(MEMS)利用微装配技术将电子和机械部件集成在同一块基片上，比如硅基片上。电气部件利用集成电路工艺进行装配，而机械部件利用与集成电路工艺兼容的微机械加工工艺进行装配。这种组合使得能够利用标准的制造工艺将整个系统装配在一个芯片上。MEMS器件的一种常规应用是设计和制造传感器件。这种传感器件中的机械部分提供了感测能力，而这种传感器件中的电子部分则对从机械部分接收到的信息进行处理。MEMS器件的一种例子是陀螺仪。某些惯性测量装置(IMU)中结合了一个或者多个MEMS陀螺仪。一种已知类型的MEMS陀螺仪使用了振动元件通过探测复合向心加速度来感测角速率。在被称作马达模式的谐振模式下，所述振动元件被设置成沿着一根马达轴线(X)发生振荡，其中马达轴线(X)平行于所述基片。一旦所述振动元件发生运动，那么陀螺仪将能够探知由于所述基片环绕一根输入轴线(Z)发生旋转而引起的角速率，其中输入轴线(Z)垂直于所述基片。在被称作马达模式的谐振模式下，复本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：M·C·格伦，W·P·普拉特，M·W·韦伯，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：