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本发明涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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