微机械角加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单，抗过载能力强，灵敏度和测量精度高的微机械角加速度传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子
，特别涉及一种用于测量运动体的姿态的角加速度传感器。
技术介绍
目前，对于测量运动体的姿态，采用的是传统的速率陀螺仪，速率陀螺仪的工作原理是通过哥氏力来敏感角速率信号。MEMS最广泛的应用就是设计和制造微型传感器。使用传感器的机电部分产生敏感信息，而电子部分则对机电部份产生的信息进行处理。MEMS陀螺就是用于测量角速度的MEMS传感器。目前，MEMS陀螺的最新技术，如《传感技术(Journal of TransducerTechnology)1998年第17卷第1期》“硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系”一文，以及美国专利号为US6837108B公开的“一种增大动态范围的微电子机械陀螺仪”(INCREASING THE DYNAMIC RANGE OF AMEMS GYROSCOPE)中所述，MEMS陀螺仪的结构是带有梳状电极的两块长方形单晶硅平板(质量块)均由挠性支臂并与单晶硅底座相连，并被支悬于底座上方，在底座上设置有电驱动的梳状电极和电容检测的一对平面电极。在MEMS陀螺仪中，通过检测哥式力的大小来测量作用在振动质量块上的角速度。当质量块本文档来自技高网...

【技术保护点】
微机械角加速度传感器，包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁，其特征在于：还包括两块与检测角加速度相关的检测极板；检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量，来判定被测角加速度的大小。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李锦明，张文栋，刘俊，熊继军，秦丽，马游春，罗源源，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：14[]