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本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器（２）输出测试声波。随着从扬声器（２）输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片（ＴＰ）的微型结构体、即三轴加速度...该专利属于奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器（２）输出测试声波。随着从扬声器（２）输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片（ＴＰ）的微型结构体、即三轴加速度...