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一种阵列式微压阻式加速度传感器制造技术
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文档序号:2625758
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本发明提供了一种阵列式微压阻式加速度传感器,它包含八个微压阻式加速度传感器敏感单元,微压阻式加速度传感器敏感单元按照正方形、圆形、椭圆形的方式分别组成正方形、圆形、椭圆形敏感单元阵列;每个微压阻式加速度传感器敏感单元通过引线2和外围电路连接...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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