下载一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法的技术资料

文档序号:26257544

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本申请公开了一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法,包括由下向上设置的基底层、第一悬空层、第二悬空层,第二悬空层包括第二支撑层和线栅层;线栅层包括多个超像元区域,每个超像元区域包括呈矩阵排列的第一子超像元区域、第二子超像元区域、第三子超像...
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